Химический дозирующий насос CFD предназначен для подачи химических растворов повышенной чистоты в процессе жидкостной химической обработки полупроводниковых пластин. Также насос может перекачивать химические вещества с высоким давлением паров, такие как аммиак и перекись водорода.
Использование фторопластов обеспечивает высокую чистоту и превосходную химическую стойкость. Настройка длины и частоты хода позволяет широко использовать насос для дозирования химических растворов. Скопление частиц предотвращается за счет шланговых соединений из PFA.
Макс. производительность: | 8 мл/ход |
Макс. давление: | 0,05 мПа |
Макс. частота хода: | 30 ходов/мин |
Основные материалы: | политетрафторэтилен PTFE / перфторалкоксиалкан PFA |
Рейтинг:
|
ratedefaulttext |
Текст